Компьютерра, 2006 № 08 (628) - страница 7
В установках иммерсионной фотолитографии при засветке светочувствительного слоя, нанесенного на поверхность кремниевого чипа, между этим слоем и линзой помещается очищенная вода или другая жидкость с высоким показателем преломления. Такой прием позволяет уменьшить длину волны света, действующего на слой, не меняя лазера. Несколько лет исследований помогли решить ряд возникающих при этом проблем вроде очистки жидкости от газовых пузырьков. И уже в позапрошлом году в IBM с помощью иммерсионной фотолитографии была изготовлена экспериментальная партия процессоров.
Однако предельные возможности иммерсионной фотолитографии остаются неясными; они ограничены величиной показателя преломления линз, жидкости и светочувствительного слоя. Предполагалось, что чипы с элементами, меньшими 32 нм, получить не удастся. Начался интенсивный поиск подходящих материалов с большим показателем преломления. В новой разработке IBM показатель преломления линз и жидкости был около 1,6, а фоточувствительного слоя — 1,7, что позволило преодолеть заветный рубеж. По мнению авторов доклада, и это не предел. Вполне реально использование материалов с показателем преломления 1,9.
Согласно прогнозам, иммерсионная фотолитография войдет в массовое производство уже в ближайшие четыре года. Это позволит полупроводниковой промышленности сэкономить миллиарды долларов и избежать рисков резкого перехода на новые, плохо отработанные технологии. Злые языки утверждают, что иммерсионная фотолитография даже сделает неактуальными дорогостоящие разработки Intel по литографии на жестком ультрафиолете с длиной волны 13 нм (и работы самой IBM по рентгеновской литографии). Они просто останутся невостребованными, поскольку к тому времени, когда в них возникнет коммерческая надобность, появятся более совершенные технологии. — Г.А.
Флоридская компания xG Techno-logy заявила о «прохождении важной вехи» на пути развития своей революционной технологии xMax. По словам представителей фирмы, один из комплектов ее оборудования, ранее иcпытанный в полевых условиях, успешно выдержал проверку на соответствие предельно допустимым нормам излучения в лаборатории, аккредитованной Федеральной комиссией по связи США (FCC).
О таинственной разработке этой компании и противоречивых суждениях, которые вызывают ее заявления, мы писали в «КТ» #602. Напомним, что xG Technology получила ряд патентов на новый способ модуляции радиосигналов, настолько замечательный, что в него трудно поверить. Во-первых, новая технология требует от передатчика в сотни и тысячи раз меньших затрат энергии. Во-вторых, сигналы xMax так слабы, что не обнаруживаются традиционными устройствами и потому могут занимать с ними одни частоты. В-третьих, новая модуляция позволяет достигать скоростей в десятки мегабит в секунду на дециметровых и даже метровых волнах.
На все просьбы специалистов объяснить, как возможно подобное чудо, xG Technology отвечает в том смысле, что «вам расскажи, так вы и сами делать его начнете». Вместо раскрытия технологии (а точнее — конструкции своего приемника, поскольку в передатчике никто не сомневается) компания сообщает, что успешно ведет переговоры с рядом крупных производителей и временами напоминает о себе в масс-медиа.
Так, в ноябре прошлого года были проведены демонстрационные полевые испытания в Майами. Приглашенным журналистам показывали небольшой черный ящик, способный с расстояния почти в 30 км принимать поток данных со скоростью 3,7 Мбит/с, излучаемый ненаправленной антенной на частоте 900 МГц с мощностью 50 мВт. При этом 99% сигнала в эфире укладывалось в узенькую шестикилогерцовую полоску, а оставшееся широкополосное излучение не обнаруживалось радиосканером.
Неизвестно, чем занималась xG Technology следующие три месяца, но в феврале она заявила, что ее ноябрьский демо-комплект прошел проверку на соответствие параграфу 15.249 FCC. Этот документ устанавливает предельную напряженность электромагнитного поля для устройств, работающих в нелицензируемом диапазоне 908—928 МГц (то есть определяет, насколько сильно могут излучать, например, квартирные радиотелефоны). То, что передатчик xG Technology вписался в рамки, означает, что при ноябрьской демонстрации он не нарушал нормы FCC и не мешал другим радиоприборам. Однако сомнения скептиков эта проверка не развеяла, тем более что все заявления держатся на честном слове самой компании.
